隨著半導體生產(chǎn)制程不斷提高,晶圓廠的生產(chǎn)工序逐漸增多,自動化程度也日漸提高,從半自動向全自動方向發(fā)展,這也意味著,對工廠調(diào)度、管理的CIM(計算機集成制造系統(tǒng))的要求和依賴也不斷增加。
FAB廠CIM全景圖
計算機集成制造系統(tǒng)CIM是半導體制造的生命級系統(tǒng),由生產(chǎn)執(zhí)行系統(tǒng)MES、裝備控制平臺EAP、良率分析控制系統(tǒng)YMS、FAB實時調(diào)度排產(chǎn)系統(tǒng)RTS等數(shù)十種軟件系統(tǒng)組成,可以完成從信息收集、分析、決策,到二次分析、大數(shù)據(jù)model預(yù)測性分析到給出決策意見的全流程軟件支持。
從2012年開始,國外高端半導體工廠開始采用管理設(shè)備,將工廠核心生產(chǎn)資料從以往的工人 設(shè)備轉(zhuǎn)變?yōu)樵O(shè)備 系統(tǒng)。CIM在半導體工廠中開始扮演日益重要的角色。但過去數(shù)十年間,CIM領(lǐng)域一直為國際公司壟斷,國產(chǎn)CIM企業(yè)較少。
芯享科技團隊2015年開始在半導體CIM領(lǐng)域初步摸索實踐。2018年,芯享科技正式成立,專做半導體工廠CIM解決方案。2022年3月,芯享科技完成渤海產(chǎn)業(yè)投資基金領(lǐng)投的數(shù)億元的A 輪融資。
目前,在半導體CIM領(lǐng)域,絕大部分12英寸晶圓廠的MES等主系統(tǒng)都被美國科技巨頭IBM和美國半導體設(shè)備巨頭應(yīng)用材料所壟斷,但MES在半導體工廠的CIM系統(tǒng)中只占到15%,更多的如EAP、SPC、FDC、YMS等系統(tǒng)同樣擔任了重要作用。在這些系統(tǒng)中,國產(chǎn)廠商已經(jīng)擁有了足以抗衡外商巨頭的技術(shù)實力和市場親睞度。目前,市面上能夠提供多種CIM系統(tǒng)的主流國產(chǎn)廠商包括芯享科技、上揚軟件、賽美特等企業(yè)。
芯享科技董事長沈聰聰告訴36氪,芯享科技在8/12寸晶圓廠CIM解決方案上實現(xiàn)了國產(chǎn)化,是國內(nèi)少數(shù)可以為8/12寸晶圓制造工廠提供整體自動化咨詢與建設(shè)的高新技術(shù)企業(yè)。
在產(chǎn)品方案上,芯享科技已形成滿足半導體工廠生產(chǎn)制造自動化所需的軟件矩陣,擁有完善的晶圓制造和封裝測試工廠生產(chǎn)所需的智能自動化軟硬件三大產(chǎn)品線——以MES、EAP、SPC等為代表的自動化系統(tǒng)幫助工廠實現(xiàn)高度自動化生產(chǎn)、質(zhì)量管控以及生產(chǎn)異常防范;RCM、Reporting、Scheduling等智能化系統(tǒng)幫助工廠實現(xiàn)生產(chǎn)效能提升以及良率和成本優(yōu)化;同時N2 Purge、AGV、SmartTag、eRack等自動化硬件設(shè)備幫助工廠解決生產(chǎn)中通訊、物料物流管理中的痛點,進一步優(yōu)化生產(chǎn)的效率、良率。
芯享科技產(chǎn)品系列
在產(chǎn)品技術(shù)優(yōu)勢上,芯享科技在半導體封測領(lǐng)域的參數(shù)比對PPC、Strip Map等數(shù)個技術(shù),實現(xiàn)了國產(chǎn)化替代。PPC通過追蹤或過程數(shù)據(jù)規(guī)格管理,對生產(chǎn)過程進行實時驗證并對設(shè)備及Lot進行控制,防止事故發(fā)生,可有效提升良率和換線效率。沈聰聰告訴36氪,在全球范圍內(nèi),目前只有三家公司掌握了該技術(shù),而芯享科技是其中之一。此外,芯享科技也是國內(nèi)少數(shù)能夠自主研發(fā)N2 Purge System的廠商,產(chǎn)品已供應(yīng)某知名12寸晶圓廠。
沈聰聰認為,芯享科技的核心優(yōu)勢除了產(chǎn)品技術(shù)的領(lǐng)先,還包括領(lǐng)先的市場策略和成熟的項目策略。“與國內(nèi)國際同行以MES、EAP產(chǎn)品為核心的產(chǎn)品矩陣策略不同,芯享科技遵奉以客戶數(shù)據(jù)價值為核心的產(chǎn)業(yè)集群競爭策略。”
在研發(fā)上,沈聰聰表示,芯享長期堅持研發(fā)團隊與項目團隊分開管理的企業(yè),摒棄在項目上按需碎片式迭代技術(shù)的方式,對于研發(fā)超前投入,保障客戶的項目以效率、效益最大化運行。
據(jù)悉,芯享科技的CIM解決方案已用于合肥、武漢、杭州、北京、無錫、廈門等地近20家12寸晶圓工廠。同時,在封測領(lǐng)域,芯享的客戶也覆蓋了行業(yè)Top10企業(yè)的三分之一。公司服務(wù)了SK海力士、華虹微電子、甬矽電子、海辰半導體、長鑫存儲、長江存儲、北京久芯、三安光電等企業(yè)。
針對更長期的發(fā)展規(guī)劃,芯享科技將以半導體工廠數(shù)據(jù)為核心,進一步探索和拓展生產(chǎn)鏈上下游的生態(tài)。目前,以芯享科技為中心,已經(jīng)建立了工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)解決方案子公司上海芯超半導體科技有限公司,產(chǎn)業(yè)信息安全解決方案子公司深圳芯安信息安全科技有限公司以及智能操控解決方案子公司合肥芯翊信息科技有限公司。
沈聰聰告訴36氪,“當下主流的半導體CIM架構(gòu)已數(shù)十年沒有大的變化,芯享科技認為未來的10年會是變革的十年,單機自動化為基礎(chǔ)的集成自動化CIM體系將會受到單機智能為基礎(chǔ)的“邊緣 中心”的趨勢所挑戰(zhàn),其中裝備的智能化能力會是關(guān)鍵,而芯享、芯超、芯安、芯翊致力于在這個趨勢中扮演關(guān)鍵角色。”
在管理團隊上,首席技術(shù)官張鎮(zhèn)浩1995年進入行業(yè),參與韓國三星半導體、SK海力士第1代和2代、3代自動化體系研發(fā),主導設(shè)計和開發(fā)了海力士第1個12寸工廠自動化整套方案。首席市場官邱崧恒自1993年進入行業(yè),歷任南亞科技、華亞科技、長江存儲、泉芯CIO,主導了長江存儲和泉芯的CIM系統(tǒng)整合,以及數(shù)座12寸晶圓工廠的IT系統(tǒng)搭建。公司現(xiàn)有員工約350人,有來自韓國、德國、中國臺灣等地的數(shù)十名技術(shù)專家,核心技術(shù)團隊的行業(yè)經(jīng)驗平均在25年以上,技術(shù)人員占比超過80%。
在談及未來如何積極參與市場競爭時,沈聰聰表示一方面是持續(xù)加強技術(shù)研發(fā)創(chuàng)新,另一方面,其提出國產(chǎn)半導體CIM應(yīng)當打“持久戰(zhàn)”的戰(zhàn)略,提出在晶圓領(lǐng)域,國產(chǎn)CIM廠商在2年內(nèi)應(yīng)聚焦85%核心系統(tǒng)外的市場占領(lǐng),3-5年在MES等核心系統(tǒng)上與外商直接競爭,5年后形成國產(chǎn)廠商成為市場主力的局面;封測領(lǐng)域目前已經(jīng)以國產(chǎn)CIM系統(tǒng)為主,并將在3-5年內(nèi)完成國產(chǎn)替代。芯享科技作為領(lǐng)先的國產(chǎn)CIM廠商,將持續(xù)致力于半導體CIM國產(chǎn)化事業(yè)。
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