3D輪廓測量儀是一種用于力學(xué)、物理學(xué)領(lǐng)域的物理性能測試儀器，無損化監(jiān)測粗糙度及微觀形貌、納米級分辨率、兼容各種2D及3D標準，非接觸式3D輪廓測量儀同時可用作檢測設(shè)備，快速掌握輪廓形狀、粗糙度及平面度，并進行OK/NG判斷。
設(shè)備測試應(yīng)用
該設(shè)備適用于以2D及3D測量為目的應(yīng)用領(lǐng)域，如機械、電子、儀表、五金、塑膠等行業(yè)。（模具、螺絲、金屬、配件、橡膠、PCB、芯片）。
設(shè)備技術(shù)特點
測量范圍
●工作臺X/Y軸行程：184*88mm
●工作臺Z軸行程：90mm
●測量精度：X/Y ±5um Z ±3um
●重復(fù)精度：X/Y 1um Z 0.5um
相機及鏡頭參數(shù)
●攝像元件：1英寸400萬像素單色cmos
●投光鏡頭：雙遠心鏡頭*2
●受光鏡頭：雙遠心鏡頭
●大視野模式：12X 25X 38X 50X 倍率
設(shè)備功能
應(yīng)用案例
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